中禹聯重檢測技術中心隸屬于上海禹重實業有限公司,作為面向21世紀專業的材料分析服務機構,為各行業及終端用戶提供高價值專業分析和測試咨詢服務,以及第三方的產品驗證。在冶金、建筑、礦山、地質、環境、機械、化工、電子電氣、石油、生物、制藥、醫療、紡織、食品和農業等眾多領域,我們與瑞士通標(SGS)、美國EAG、上海材料研究所測試中心和鋼研檢測中心等權威檢測單位開展廣泛而持久的合作關系。
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成像/投影
在其最簡單的形式中,成像分析主要是利用顯微鏡方法來聚焦表面(包括光學和電子)。分析提供的信息會受到所使用的儀器能力的限制。在此分析類型中主要采用的分析技術是掃描式電子顯微鏡(SEM)。
元素、無機物或者分子種類的橫向分配(例如位置)可以使用以下方法來測量:
電子束技術:SEM,EDS和Auger
離子束技術:TOF-SIMS和FIB
這些方法提供了地圖或圖像來顯示不同種類元素的相對位置,相關的功能,缺陷,顆粒等的有用信息。
也可以使用其他的技術來獲得圖像:
Raman測量分子振動,并且提供有關官能基、碳類型和壓力/應力的信息。
AFM提供表面粗糙的圖像、硬度和磁性成像。
XPS提供元素和化學映像。
光學輪廓測定可以產生表面的三維成像,三維測量或特定功能的成像。
在一個規模較大的晶圓映像到300mm,LEXES可以用于映射摻雜、薄膜成分和雜質;XRR/XRF可以用于映像膜的厚度和密度;TXRF可以用于映像元素污染物。
主要分析技術
Auger
EDS
FIB
LEXES
SEM
TOF-SIMS
XRF
XRR
其他分析技術
AFM
Raman
XPS